1997.9-2001.6 合肥工业大学学士
2001.9-2004.3 合肥工业大学硕士
2004.3-2008.3 东南大学博士
2008.3-至今东南大学mems教育部重点实验室
2011.9-2012.9 荷兰代尔夫特理工大学博士后
中国仪器仪表学会-元件/工艺分会理事，中国微米纳米学会会员
1.微纳器件（mems）、柔性电子器件理论研究、器件设计及制造技术研究
2.智能微系统与集成
3.低维材料的材料特性多物理场耦合测试技术
1.主持国家级863项目，国家自然基金等项目4项，参与4项。重点研究不同应用领域用的高灵敏度，宽量程，高温等mems器件设计及加工工艺研究。
2.已发表国内外期刊论文30余篇、已授权中国发明专利20余项。
3.获2019年度国家科学技术进步奖，二等奖（排名第3）
获2018年度江苏省科学技术奖，二等奖（排名第3）
4.参与编著《机械工程手册第29篇》等书
获2019年度国家科学技术进步奖，二等奖（排名第3）
